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外形尺寸: 寬1150*深1255*高2065mm(含燈塔高度)
反應(yīng)腔尺寸: 120升:寬450*深465*高620mm/腔溫監(jiān)測(cè)
放料層數(shù): 12層(2~3~4~6~12層可調(diào)/插拔式電極板)
有效空間: 每層可用:寬390*深350*高42mm
等離子電源: 13.56MHz/750W(或40KHz/1500W)
真空泵: 油泵組(可選配干泵組)
主電源:AC 380V±10%,50/60Hz
外形尺寸: 寬1150*深1255*高2065mm(含燈塔高度)
反應(yīng)腔尺寸: 120升:寬450*深465*高620mm/腔溫監(jiān)測(cè)
放料層數(shù): 12層(2~3~4~6~12層可調(diào)/插拔式電極板)
有效空間: 每層可用:寬390*深350*高42mm
等離子電源: 13.56MHz/750W(或40KHz/1500W)
真空泵: 油泵組(可選配干泵組)
主電源:AC 380V±10%,50/60Hz
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