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外形尺寸: 寬2060*深1400*高2070mm(含燈塔高度)
反應(yīng)腔尺寸: 1200升:寬1150*深950*高1100mm
放料層數(shù): 14層(水冷式電極板)
有效空間: 每層可用:寬1060*深775*高32mm(載板)
等離子電源: 40KHz/10KW
真空泵: 干泵組
主電源: AC 380V±10%,50/60Hz
外形尺寸: 寬2060*深1400*高2070mm(含燈塔高度)
反應(yīng)腔尺寸: 1200升:寬1150*深950*高1100mm
放料層數(shù): 14層(水冷式電極板)
有效空間: 每層可用:寬1060*深775*高32mm(載板)
等離子電源: 40KHz/10KW
真空泵: 干泵組
主電源: AC 380V±10%,50/60Hz
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